激光晶体和元件
紫外光学器件是针对 10nm 至 400nm 电磁波谱应用而优化的光学器件,紫外波长范围高于可见光区域和 X 射线波长。常见的紫外光学器件包括紫外透镜、窗口片、滤光片、分束器、棱镜以及波片等偏振光学元件。
为了在紫外波长范围内获得高透射率,用于制造紫外光学器件的光学材料必须具有较大的带隙。这是因为紫外光的光子能量高于可见光;这些光子可以将材料中的电子从价带激发到导带,从而导致光子被吸收而不是紫外光透射。因此,具有较大带隙的介电材料(例如 CaF2(氟化钙))是紫外光透明的光学晶体的典型代表,它可以阻止紫外光子激发电子并被吸收。
紫外光学器件还需要更高的表面质量和光学介质内部优异的光学均匀性。由于波长较短,即使是光学材料内部的微小缺陷或紫外光学元件表面的划痕也会导致紫外光发生显著散射。
许多光学材料在紫外光谱范围内的色散远高于可见光或红外光谱范围。因此,对于紫外光学元件,尤其是用于宽带紫外光源的光学元件,应考虑消色差设计。
损伤阈值和性能下降是紫外光学元件的另一个重要问题,尤其是在强紫外激光的应用环境中。紫外光学元件应具有足够的损伤阈值和耐长期紫外辐射的能力。光学材料中的杂质和表面精度应严格控制,因为这两者是紫外光学元件损伤和性能下降的主要决定因素。
深紫外 (DUV) 是指短波紫外光谱,波长大约在 193-248nm 之间,而真空紫外 (VUV) 则大致位于波长更短的 150-200nm 紫外区域。正如瑞利方程所示,延伸至紫外光谱区域的较短部分有助于突破所能获得的最终分辨率的极限,因此,深紫外和真空紫外光学器件和晶体材料在各种要求精度的应用中发挥着不可或缺的作用。深紫外 (DUV)、真空紫外 (VUV) 光学器件和晶体广泛应用于各种专业领域,包括紫外光刻、准分子激光器(例如 193nm 的 ArF 激光器)、太空和天文学以及医疗(例如 LASIK 手术)等,并能提供更高的精度。
杭州煦和光电提供全面的定制深紫外光学器件、真空紫外光学器件以及深紫外 (DUV) 和真空紫外 (VUV) 透明光学晶体,以满足高性能光学系统的需求。我们专注于生产透射紫外波长范围的晶体,这些晶体非常适合用作紫外、深紫外和真空紫外光学器件的基底(或镀膜)材料。我们也提供带有可选镀膜的成品紫外光学元件。
我们的主要晶体类型包括:紫外级氟化钙 (CaF2) 光学器件和晶体、氟化镁 (MgF2) 光学器件和晶体、氟化锂 (LiF2) 光学器件和晶体以及 CLBO 晶体,适用于深紫外、真空紫外和紫外波段的应用,同时我们还可以提供不同等级的晶体,灵活应用于可见光和红外波段。我们的深紫外 (duv) 和真空紫外 (vuv) 级氟化钙 (CaF2)、氟化镁 (MgF2) 和氟化锂 (LiF2) 晶体采用先进的高纯度工艺生长而成,具有大孔径、低气泡/夹杂物含量、卓越的激光损伤/抗紫外线辐射性能、高紫外线透射率以及优异的折射率均匀性等优势,展现出尖端的卓越性能。除了块状氟化钙、氟化镁 (MgF2) 和氟化锂晶体外,Shalom EO 还提供由氟化物制成的高精度紫外光学元件,其表面平整度和质量保持良好,可满足最严格的要求。我们的深紫外和真空紫外氟化物光学元件提供各种规格和类型,包括圆形、方形和阶梯形窗口片;透镜;棱镜;反射镜;分束器;波片;以及定制形状的光学元件,所有产品均根据客户规格量身定制。我们提供各种镀膜选项,例如增透膜或高分辨膜。
杭州煦和光电技术有限公司拥有高效的生产能力,能够满足客户对深紫外、真空紫外光学器件、晶体材料及组件的大规模需求。我们采用先进的测试设备,并严格遵循质量保证标准,提供功能和质量均超出预期的氟化钙 (CaF2)、氟化镁 (MgF2)、氟化锂 (LiF2) 晶体及材料。
以下是我们深紫外、真空紫外光学器件和晶体的简要介绍:
氟化钙 (CaF2) 光学器件和晶体:
煦和光电的氟化钙 (CaF2) 晶体采用布里奇曼-施托克巴格 (Bridgman-Stockbarger) 法生长。氟化钙晶体具有低色散、高损伤阈值和高折射率均匀性的综合优势,并且比其他氟化物更坚硬,是制造紫外光学器件(例如 193nm (ArF) 准分子激光聚焦透镜)最常用的光学材料。我们可以提供镀膜或未镀膜的 CaF2 透镜/窗口/棱镜/分光镜等。
氟化镁 (MgF2) 光学器件和晶体:
Shalom EO 的 MgF2 晶体采用布里奇曼-斯托克巴格法生长。与氟化钙 (CaF2) 光学器件相比,MgF2 晶体和光学器件具有更佳的深紫外透射率和约 121nm 的短截止波长。MgF2 还具有更优异的物理和化学特性。然而,它具有轻微的双折射性。我们可以提供镀膜或未镀膜的 MgF2 透镜/窗口片/棱镜/分光镜/波片/光学滤光片等。
氟化锂 (LiF) 光学器件和晶体:
Shalom EO 的 LiF 晶体主要采用布里奇曼-斯托克巴格法生长,但为了获得更佳的微观结构,也可以采用泡生法 (KY) 生长。 LiF晶体和光学元件在截止波长低于110nm的深紫外波段具有最高的透明度。然而,LiF具有吸湿性,容易沿(100)或(110)面发生解理。我们为X射线光谱仪提供镀膜或未镀膜的LiF窗口片/透镜/复消色差透镜/光学元件。
CLBO晶体:
CLBO是一种优异的非线性光学晶体材料,可通过谐波产生紫外和深紫外激光。硼酸铯锂是钕激光器的全场振荡谐振器(FHOG)和全场高次谐波谐振器(FIHG)的理想选择,也是钛宝石和紫翠玉激光器的二次谐波(SHG)和三次谐波(THG)的理想选择。